半导体设备专用不锈钢蜂窝波导窗，采用304/316L不锈钢六边形蜂窝结构，兼具高电磁屏蔽、低真空放气、高强度轻量化特性；耐等离子腐蚀、易清洁，保障腔体压力均衡，有效隔绝电磁干扰，适配等离子、真空工艺半导体设备，支持大口径定制加工。

半导体设备用不锈钢蜂窝（波导窗/真空腔体配件）特点&优势

产品优势

1. 优异电磁屏蔽性能

六边形蜂窝波导结构，有效抑制电磁波泄露，隔离腔体内外电磁干扰；满足半导体设备射频、等离子工艺环境的屏蔽要求，保障晶圆工艺稳定。

2. 高真空适配，低放气

不锈钢材质经过除油、酸洗、真空烘烤处理，出气率低，不易释放杂质气体，适配半导体高真空腔体环境，不会污染晶圆，符合洁净真空要求。

3. 高强度、刚性好，轻量化

蜂窝夹层结构，在重量较轻的前提下拥有很高结构刚度；大直径圆形件不易变形，适合大口径腔体通风/透光/透气同时保持结构稳定。

4. 耐高温、耐腐蚀

不锈钢耐等离子腐蚀、耐高低温冲击，可承受半导体设备腔体的升温、冷却循环；抗工艺气体腐蚀，使用寿命长。

5. 气流通透，压力均衡

蜂窝通孔结构，保证腔体内部气体流通、压力平衡，兼顾透气与屏蔽，常用于真空腔体观察窗、通风波导口。

6. 洁净易清洁

金属表面致密无孔隙，方便擦拭、等离子清洗，不易藏污纳垢，满足半导体无尘车间洁净度要求，无粉尘脱落。

7. 尺寸可定制

可做大口径圆形/异形法兰蜂窝组件，孔径、厚度、法兰孔位按需加工，匹配各类半导体腔体设备。